深冷分離法：
1、空氣過濾系統(tǒng)；除塵過濾，去除灰塵和機械雜質(zhì)
2、空氣壓縮機系統(tǒng)；對氣體作功，提高能量、具備制冷能力
3、空氣預冷系統(tǒng)；對氣體
預冷，降低能耗，提高經(jīng)濟性。有預冷的一次節(jié)流循環(huán)比無預冷的一次節(jié)流循環(huán)經(jīng)濟，增加了
制冷循環(huán)，減輕了換熱器的工作負擔，使產(chǎn)品的冷量得到充分的利用；
4、空氣凈化系統(tǒng)；防爆、提純；空氣是多組分組成，除
氧氣、
氮氣等氣體組分外，還有
水蒸氣、二氧化碳、乙炔及少量的灰塵等固體雜質(zhì)。這些雜質(zhì)隨空氣進入
空壓機與空氣分離裝置中會帶來較大危害，固體雜質(zhì)會磨損空壓機運轉(zhuǎn)部件，堵塞
冷卻器，降低冷卻效果；水蒸氣和二氧化碳在空氣冷卻過程中會凍結(jié)析出，將堵塞設(shè)備及
氣體管道，致使
空分裝置無法生產(chǎn)；
乙炔進入空分裝置后會導致爆炸事故的發(fā)生，所以為了保證制氧機的安全運行，清除這些雜質(zhì)是非常有必要的。
利用固體吸附劑是對
氣體混合物中多組分吸附能力的差異進行的；氧氮產(chǎn)量比1：（2.5~3.5）；
作用：吸附空氣中的水分、二氧化碳、乙炔、
丙烯、
丙烷、重烴、N2O等雜質(zhì)。
5、空氣壓縮膨脹系統(tǒng)；制冷系統(tǒng)，換熱系統(tǒng)，在膨脹過程中，有外功輸出，膨脹后氣體內(nèi)位能增大，需要消耗能量，這些能量需要用動能補償，故
氣體溫度必然降低。換熱系統(tǒng)：實現(xiàn)能量傳遞，提高經(jīng)濟性，低溫操作條件；
空氣分離，可將適量的膨脹空氣（占空氣的20%~25%）直接送入上塔進行精餾；從下塔頂部或冷凝蒸發(fā)器頂蓋下抽取
氮氣，復熱后進入氮氣
透平膨脹機，經(jīng)
膨脹機并回受其冷量后，作為產(chǎn)品輸出或者放空。
7、氧氣壓縮；
8、氮氣壓縮；
工藝簡述
流路簡述
原料空氣在空氣吸入過濾器中去除去灰塵和機械雜質(zhì)后，進入空氣
透平壓縮機中，借助
中間冷卻器進行中間冷卻，將空氣壓縮至約0.62MPa(A)左右，然后進入空氣
冷卻塔中冷卻。
空氣在直接接觸式空氣冷卻塔中與水進行熱質(zhì)交換，降溫至～10℃，然后進入交替使用的
分子篩吸附器。用于冷卻空氣的水有兩部分：一部分為常溫水，由泵加壓后進入空冷塔中部；另一部分稱為冷凍水，該股冷凍水由普通冷卻水經(jīng)水氮塔冷卻，而后經(jīng)過深冷水泵加壓進入空冷塔的頂部。
出空冷塔空氣進入分子篩吸附器，分子篩吸附器為立式雙床層，用來清除空氣中的水份、二氧化碳和一些碳氫化合物，從而獲得干凈而又干燥的空氣。兩臺
吸附器交替使用，即一臺吸附器吸附雜質(zhì)，另一臺吸附器則由污
氮氣進行再生。
凈化后的加工空氣分成兩路:一路被稱作膨脹空氣，首先經(jīng)過一個
精細過濾器濾去機械雜質(zhì)，而后進入
膨脹機增壓端增壓，增壓后的空氣首先在增壓機
后冷卻器中被冷凍水冷卻，然后進入主換熱器中的膨脹氣通道，被相鄰通道中的返流氣冷卻后，再從主換熱器中部抽出，進入
透平膨脹機中膨脹，膨脹后的空氣進入上塔中部參加精餾；另一路空氣直接進入主換熱器被冷卻至
露點溫度進入下塔。
已冷卻的空氣進入下塔參加精餾。進入下塔的空氣通過塔板上的篩孔使塔板上的液體蒸發(fā)，由于氧、氮、氬的沸點間的差異，使更多的氮氣從液體中蒸發(fā)出來，同時經(jīng)過塔板的空氣中更多的氧組分被冷凝下來。最終在下塔底部獲得含氧38%的富氧液空，而在下塔頂部獲得純氮。
下塔頂部的
氮氣經(jīng)過冷凝蒸發(fā)器，與來自上塔底部的液氧進行熱交換，液氧被蒸發(fā)，而氮氣被冷凝，一部分冷凝液氮再回到下塔作回流液，另一部分液氮，在過冷器中進行過冷，然后送入上塔頂部作為上塔的回流液。從下塔底部抽出
富氧液空，在過冷器中過冷，其中一部分富氧液空提供給粗氬塔
冷凝器作為
冷源，另一部分送入上塔中部參加精餾。
以不同狀態(tài)進入上塔的各物料：液空、
液氮、來自粗氬塔冷凝器的液空蒸汽和膨脹空氣，通過上塔的進一步分離，在上塔底部獲得純度為99.6%的液氧，可使用
液氧泵提高壓力后，經(jīng)主換熱器復熱至～12℃后出冷箱轉(zhuǎn)換為不同壓力的氧氣產(chǎn)品送出。
從上塔的上部抽出污氮氣，經(jīng)過冷器、主換熱器復熱后部分去純化系統(tǒng)作再生氣，另一部分去水氮塔。從上塔頂部抽出的氮氣，經(jīng)過冷器、主換熱器
復熱后分成兩股，一股作為產(chǎn)品
氮氣并入管網(wǎng)，另一部分送入預冷系統(tǒng)的水氮塔。
從上塔的中部抽取一定量的氬餾份送入氬塔，氬塔在結(jié)構(gòu)上分為兩段，兩段之間由液氬泵連接，第二氬塔底部的回流液經(jīng)液氬泵送入第一氬塔頂部作為回流液，經(jīng)過氬塔精餾，在塔上部獲含氮量極低的
氬氣，并更換冷源進行進一步精餾，除去氬氣中的殘余氧同時進行
液化得到液體純氬，分析合格后送入
液氬貯存系統(tǒng)。
